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          博诺格仪器

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          气体质量流量计/控制器

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          Line Tech气体质量流量控制器

           

          产品特点:

          • 快速的响应时间
          • 无泄漏
          • 较好的抗腐蚀性
          • 卓越的线性
          • 较高的长期稳定性
          • 宽泛的压力范围
          • 模块化设计
          • 较高性价比

           

          技术指标:

          流量范围
          10SCCM-125SLPM
          响应时间
          ≤2sec
          准确度
          ≤1%FS
          重复精度
          ±0.25%
          输入/输出信号
          0-5VDC,4-20mA
          供电电源
          +15~28VDC,350mA
          耐压
          <9MPa
          工作环境温度
          0-50℃
          泄漏率
          1*10-9atm.cc/sec

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